固态照明，作为全球公认的高效节能途径，跟着高亮度发光二极管（LED）的呈现，完成了从指示灯到照明范畴的严重革新。我国半导体照明工程的发动，更是推动了LED工业迈向快速发展阶段。在半导体照明工业中，衬底是技能发展的柱石与中心资料。蓝宝石（α-Al₂O₃）凭仗其杰出的物理、化学和光学特性，成为常用的衬底和窗口资料，如在LED衬底和红外窗口中大规模的使用。为提高蓝宝石加工质量，科研人员将超声振荡引进CMP，开宣布蓝宝石超声振荡辅佐化学机械抛光（UV-CMP）工艺。该工艺将超声振荡施加于旋转抛光头，为传统CMP增添了超声辅佐功用。

　　此刻，功率扩大器发挥关键效果，它将接收到的超声电信号进行扩大，使电信号到达超声转化设备所需的作业电压和功率。扩大后的电信号传输至超声转化设备，从而转化成同频率的机械振荡。至此，CMP抛光机晋级为UV-CMP，传统化学机械抛光晋级为超声振荡辅佐化学机械抛光。封闭超声信号发生器开关，设备又可转化回传统化学机械抛光作业形式。可见，功率扩大器在整个UV-CMP技能流程中，起到了衔接超声信号发生器与超声转化设备的桥梁效果，对完成超声振荡辅佐功用、提高蓝宝石加工功率和质量至关重要。

　　信号发生器输出的驱动信号缺乏以使超声转化设备正常作业。因而还需装备功率扩大器，将电驱动信号进行扩大。经过扩大的电信号可以使超声转化设备正常作业。功率扩大器选用Aigtek-ATA-68020，电压是850Vp-p，最大输出电流是2.12Ap。

　　试验原理：试验设备中的超声信号发生器发生特定频率和波形的电信号，该信号经功率扩大器扩大后，传输给超声转化设备。超声转化设备内的压电陶瓷片将电信号转化为同频率的机械振荡，再经过喇叭形盖板扩大机械信号并传递给样品托，使抛光头在旋转时发生超声振荡。这一振荡让抛光液中的磨粒取得额定能量，加快碰击晶片外表，一起超声开释的热量能加快抛光液与晶片外表的化学反应。

　　试验进程：首要准备好2英寸C(0001)向单面蓝宝石晶片、聚氨酯垫、特定粒径和浓度的硅溶胶以及各类化学添加剂等资料。接着制造抛光液，将不同剂量的化学添加剂溶解至去离子水，再参加硅溶胶并稀释至二氧化硅磨粒浓度为15%，拌和30分钟。试验开端，把抛光垫粘在抛光盘上，设置好下压、抛光头/盘转速、流速、时刻和超声振荡振幅等工艺参数，将制造好的含不同化学药剂的抛光液放入供应泵。然后清洗初始蓝宝石晶片并称重，吸附在抛光头样品托上，用批改盘修整被去离子水潮湿的抛光垫。此刻，超声信号发生器生成超声电信号，该信号传输给功率扩大器进行扩大，扩大后的电信号传输给超声转化设备，将电信号转化为机械振荡，带动抛光头振荡，使抛光头在旋转时发生超声振荡，完成超声化学机械抛光。试验完毕后，取下工件清洗、称重，核算资料去除率，使用原子力显微镜调查外表描摹，并进行XPS、SEM等检测。

　　使用方向：芯片封装抛光，航空航天零部件抛光，医疗器械加工，反射镜抛光等方向。

　　使用场景：超声化学机械抛光，蓝宝石晶片，超声化学机械抛光试验，硬脆性资料超声抛光

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